蒸發(fā)臺坩堝表面容易結塊怎么解決

蒸發(fā)臺鉗鍋系統(tǒng)是半導體元件硅片生產(chǎn)的重要設備，主要有瓷器和玻璃兩種分類，利用電子束加熱坩堝中的金屬顆粒，使其蒸發(fā)撞擊到硅片表面。

造成蒸發(fā)臺鉗鍋表面容易結塊一般是由于以下幾點造成的。

1、坩堝表面沒有被清潔干凈，有殘留的油脂，污垢等；

2、蒸發(fā)鍍膜溫度過高，使得油脂在表面結塊；

3、蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度過高，使得油脂在表面結塊。

大家知道為什么蒸發(fā)臺鉗鍋表面容易結塊的問題原因后，給大家提供一種有效的解決辦法，

1、將坩堝表面清潔干凈，去掉殘留的油脂、污垢等；

2、將蒸發(fā)鍍膜溫度降低，使得油脂不會在表面結塊；

3、將蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度降低，使得油脂不會在表面結塊。

希望以上方法可以幫助到大家，丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種蒸發(fā)臺鉗鍋，還生產(chǎn)加工上千種電子設備零備件，如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。