蒸發(fā)臺(tái)坩堝表面容易結(jié)塊怎么解決

蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋系統(tǒng)是半導(dǎo)體元件硅片生產(chǎn)的重要設(shè)備，主要有瓷器和玻璃兩種分類，利用電子束加熱坩堝中的金屬顆粒，使其蒸發(fā)撞擊到硅片表面。

造成蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊一般是由于以下幾點(diǎn)造成的。

1、坩堝表面沒(méi)有被清潔干凈，有殘留的油脂，污垢等；

2、蒸發(fā)鍍膜溫度過(guò)高，使得油脂在表面結(jié)塊；

3、蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度過(guò)高，使得油脂在表面結(jié)塊。

大家知道為什么蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋表面容易結(jié)塊的問(wèn)題原因后，給大家提供一種有效的解決辦法，

1、將坩堝表面清潔干凈，去掉殘留的油脂、污垢等；

2、將蒸發(fā)鍍膜溫度降低，使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊；

3、將蒸發(fā)鍍膜溶液中的溶劑濃度降低，使得油脂不會(huì)在表面結(jié)塊。

希望以上方法可以幫助到大家，丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種蒸發(fā)臺(tái)鉗鍋，還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件，如擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、CVD、背銀機(jī)、減速機(jī)、機(jī)械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。