離子源配件之離子源弧光室

離子源弧光室是離子注入機(jī)離子源的重要組件。離子注入是現(xiàn)代集成電路制造中的一種非常重要的技術(shù)，其利用離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的摻雜，即使用鎢絲作為陰極發(fā)射電子轟擊含有特定的雜質(zhì)元素的氣體分子，產(chǎn)生電離的特定雜質(zhì)原子經(jīng)靜電場(chǎng)加速后打到硅單晶圓片表面，并打入半導(dǎo)體內(nèi)部，改變導(dǎo)電特性并*終形成晶體管結(jié)構(gòu)。

由于在離子源發(fā)生的電子轉(zhuǎn)換為電漿離子時(shí)，會(huì)產(chǎn)生2000℃以上的工作溫度，離子束噴發(fā)時(shí)，也會(huì)產(chǎn)生很大的離子動(dòng)能，一般金屬會(huì)很快燒熔，因此需要質(zhì)量密度較大的惰性金屬，以維持離子束噴發(fā)方向，并增加組件耐用度，鎢鉬是必選材料。由于鎢鉬材料高溫化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、熱變形小和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體行業(yè)離子源弧光室零組件及耗件多采用鎢、鉬材料制造，這些器件包括發(fā)射電子陰極的屏蔽筒、發(fā)射面板、中心固定桿、起弧室內(nèi)的絲極板等，我們統(tǒng)稱為離子注入用鎢零件和離子注入用鉬零件。

丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種離子源弧光室，我公司加工制作的離子注入用鎢零件具有密度高，純度高，尺寸精度好的特點(diǎn)。還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件，如擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、CVD、背銀機(jī)、減速機(jī)、機(jī)械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。