注入機(jī)離子源燈絲是干嘛用的？

注入機(jī)離子源燈絲也就是用于離子注入機(jī)的鎢絲。

離子注入機(jī)是VLSI制造工藝的關(guān)鍵設(shè)備，其運(yùn)行情況直接影響到IC工藝線的效率。離子注入機(jī)的故障率較高，且大部分集中在離子源系統(tǒng)。離子源弧室內(nèi)燈絲絕緣子在饋入工藝氣體電離后的等離子體、聚合物及濺射產(chǎn)物等環(huán)境中，其表面容易沉積一層電離產(chǎn)物和濺射金屬粒子混合覆蓋物，若其結(jié)構(gòu)不合理，在較短的時(shí)間內(nèi)，就會(huì)降低陽極電極間的絕緣性，乃至短路。拆修后，注入機(jī)離子源燈絲基本上報(bào)廢，使用率低，致使整臺(tái)設(shè)備常常處于維修狀態(tài)。所以，離子源的絕緣對注入機(jī)相當(dāng)重要。

離子源作為注入機(jī)的束流源，其工作的穩(wěn)定性在很大程度上決定著引出離子束流的質(zhì)量。通過合理設(shè)計(jì)離子源內(nèi)絕緣子的結(jié)構(gòu)，提高了防濺射粒子沉積物沾污的能力。陽極電源和注入機(jī)離子源燈絲電源的工作效率隨工藝時(shí)間的增加而降低的情況得到了改善。加強(qiáng)了離子源的電離穩(wěn)定性，系統(tǒng)的重復(fù)性較好，維修次數(shù)也明顯減少。

丹東正芯微電子科技有限公司是一家生產(chǎn)、加工各種注入機(jī)離子源燈絲的高新民營企業(yè)。主營注入機(jī)、濺射臺(tái)、蒸發(fā)臺(tái)等半導(dǎo)體設(shè)備核心配件及相關(guān)系列配件。我公司還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件，如擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、CVD、背銀機(jī)、減速機(jī)、機(jī)械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。