半導體設備配件行業(yè)整理

很多人都不太清楚半導體設備配件、模組的分類，每個半導體設備配件分類國產化的情況和難度的排序，下面就讓小編來給大家介紹一下。

半導體設備配件分類：

模組件：分為EFEM（傳送模塊）、傳送腔體、反應腔體，還有部署設備（氣柜、電柜）、清洗組件、冷卻組件（CM）。

零部件：

1）金屬件：一般包括鋁錠（純鋁，用作腔體）、不銹鋼（用作骨架）、鋁合金為原料制作的產品，目前國產化率較多。

2）非金屬件：陶瓷件、石英件、石墨。

3）氣柜：主要用世偉洛克的產品；其中的氣體管路等配件主要用的SMC、VAT的產品。氣柜產品有的是廠家自己制作的，有的是委托下游廠商制作的，例如富士金、VAT、UCT。

4）儀表類：主要是流量計，目前主要用SMC和日本津市的多一些。

5）射頻電源：主要用的MKS產品。

6）閥門：主要用的VAT和SMC，VAT的產品是用的較多的，國內也是用這兩家多一些。但是應材的產品是自己定制的，不采用現(xiàn)有的模塊。

7）泵：常用的就是德國普旭和愛德華，愛德華用的是較多的。

8）管路連接：與氣柜連接的管路主要是四家的產品，MKS、VAT、UCT、富士金。

國產化進度：目前不論是國內還是國外設備廠商都是用的上面這些廠商的產品，很少用國內沒有認證的零部件產品。除了金屬加工件這種常見的產品外，其他的氣體管路、氣柜、儀表、電源、閥門、泵之類的，都是用的國外零件。

半導體設備配件加工的難易程度：

1）非金屬類產品加工是難度大的，交期可能8~10個月。例如石英件、陶瓷件的加工等，可能都是以國外為主。國內的大和熱磁，目前是國內用的最多的。

2）其次是配置類，基本上都是被國外所壟斷，包括精度高一點的各種流量計，這些東西是被國外壟斷的，交期也非常長，有時還涉及到一些政治因素。

3）第三是氣柜模組部分。

4）最后是金屬加工的部分。

丹東正芯微電子科技有限公司可生產Varian、Eaton、Applied Materials、Nisson等的各型號注入機配件，我公司還生產加工上千種電子設備零備件，如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等，圖片未列產品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。