蒸發(fā)臺(tái)坩堝的材料與性能

蒸發(fā)臺(tái)坩堝在半導(dǎo)體制造中起著舉足輕重的作用，其材料的選擇和性能的優(yōu)劣直接影響著生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。

常見(jiàn)的蒸發(fā)臺(tái)坩堝材料包括石英、陶瓷和石墨等。石英坩堝具有良好的耐高溫性能和化學(xué)穩(wěn)定性，能夠在高溫環(huán)境下保持結(jié)構(gòu)的完整性，且不易與蒸發(fā)物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。陶瓷坩堝則具備較高的強(qiáng)度和硬度，能夠承受一定的機(jī)械應(yīng)力。石墨坩堝具有優(yōu)異的導(dǎo)熱性，能使熱量快速均勻分布。

在性能方面，蒸發(fā)臺(tái)坩堝的熱穩(wěn)定性至關(guān)重要。它需要能夠承受高溫蒸發(fā)過(guò)程中的劇烈溫度變化，而不發(fā)生破裂或變形。良好的化學(xué)惰性也是關(guān)鍵，確保坩堝自身不會(huì)對(duì)蒸發(fā)物質(zhì)造成污染。

蒸發(fā)臺(tái)坩堝的密封性影響著蒸發(fā)過(guò)程中的真空度保持，從而影響薄膜沉積的質(zhì)量。其形狀和尺寸的精度也會(huì)影響蒸發(fā)物質(zhì)的分布均勻性。

在制作高精度的半導(dǎo)體芯片時(shí)，對(duì)坩堝材料的純度和性能要求極高。哪怕是微小的雜質(zhì)或性能缺陷，都可能導(dǎo)致芯片的性能下降或失效。