離子注入機(jī)的重要組成部分-注入機(jī)離子源配件

注入機(jī)離子源的類型豐富多樣，常見的有熱陰極電離源、場致發(fā)射源和 PIG 離子源等。而每種離子源都需要與之適配的配件，如離子源蓋板、離子源反應(yīng)室、離子源燈絲、離子源磁極等。注入機(jī)離子源配件-蓋板主要用于固定起弧室的前引導(dǎo)板，其材質(zhì)可能會在使用過程中發(fā)生改變，或通過增加冷卻效果來適應(yīng)持續(xù)高溫的離子源。然而，當(dāng)離子源的熱量持續(xù)處于較高水平時，僅依靠冷卻措施并不能完全解決離子體從變形狹縫處噴出的問題。注入機(jī)離子源配件作為離子注入機(jī)離子源反應(yīng)室的重要組成部分，對離子源的正常運(yùn)行起著關(guān)鍵作用。此外，注入機(jī)離子源配件在離子源中扮演著重要的角色，它們共同確保了離子源的穩(wěn)定和高效運(yùn)行。

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