蒸發(fā)臺配件-電子槍的工作原理

蒸發(fā)臺配件-電子槍是生產(chǎn)電子束的部件，由直線狀螺旋鎢陰極、柵極和陽極組成。加速電壓采用負(fù)高壓，陰極和柵極處于相同的負(fù)電位，陽極接地電位。陰極由交流供電加熱，使之發(fā)射電子，電子受柵極電位的影響，在陽極電壓加速下形成會聚的電子束。在X方向磁場的作用下，電子束得到進一步聚集并偏轉(zhuǎn)射入裝有被鍍膜料的坩堝中，其動能變成熱能使材料蒸發(fā)沉積于基片上，達到所需膜層的要求。

蒸發(fā)臺配件-電子槍在蒸鍍時，由于電子束中的電子與氣體分子和蒸發(fā)材料的蒸汽發(fā)生碰撞產(chǎn)生的離子轟擊帶負(fù)電高壓電極及其引線，即產(chǎn)生打火。電子束蒸鍍設(shè)備的高壓電源都附有高壓復(fù)位裝置，在打火時自動切斷高壓，然后又自動恢復(fù)，切斷與恢復(fù)的時間越短，越不會影響蒸鍍工藝。

蒸發(fā)臺配件生產(chǎn)廠家-丹東正芯微電子科技有限公司可按用戶要求加工各種半導(dǎo)體設(shè)備配件，還生產(chǎn)加工上千種電子設(shè)備零備件，如擴散爐、刻蝕機、CVD、背銀機、減速機、機械泵等，圖片未列產(chǎn)品或有特殊需要，詳情電話咨詢（0415-3196990 ）或郵箱聯(lián)系（zsunsale@163.com）。